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142020-05

光学微电子净化工程

光学微电子净化工程一般包括: 1.洁净生产区 2.洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等) 3.管理区(包括办公、值班、管理和休息) 4.设备区(包括净化空调系统应用
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