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光学微电子净化工程一般包括:

1.洁净生产区

2.洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)

3.管理区(包括办公、值班、管理和休息)

4.设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)