1）每一小系统用一台空气处理机组，系统风量小，风管尺寸小，占用空间少，甚至可把空气处理机组吊挂于吊顶夹层内（噪音应能满足要求），节约机房面积。

2）每台机组可以有不同的送风参数，能很好地满足不同洁净室的热湿负荷要求。

3）调节灵活，当某些洁净室不用时，可把机组关掉，节能效果显著。

4）空气处理机组较多，管理不太方便。

5）由于是分散式系统，对于整个车间洁净室的压差不好控制。